Etch란?
필요한 부분만 남도록 재료를 제거하는 공정.
3줄 요약
- 식각은 재료를 선택적으로 제거하는 공정입니다.
- 회로와 깊은 구조를 만들 때 사용합니다.
- 형상·균일도·선택비를 함께 관리합니다.
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무엇을 만드는가?쉽게 이해하기무엇을 만드는가?
반도체는 얇은 막을 쌓고 그 일부를 제거하며 구조를 만듭니다. 식각은 마스크로 보호한 영역과 제거할 영역을 구분해 원하는 형태를 만드는 역할을 합니다.
쉽게 이해하기
식각은 얼마나 많이 깎았는지와 어떤 모양으로 깎았는지를 함께 봐야 합니다. 깊이는 같아도 옆면 모양과 바닥 상태가 다를 수 있습니다.
ENGINEER VIEW · 공학적 해석
속도만 높이면 좋은 공정이 되지는 않습니다. 원하는 형상을 유지하고 주변 재료 손실을 억제하며 웨이퍼 전체 결과를 맞춰야 합니다.
참고 자료